Dec. 17 13:30 - 15:25 波止場会館(5F) Hatoba Kaikan 5F |
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Chair: Makoto SEKINE (Nagoya University ) |
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13:30-13:50 |
プラズマ誘起電解によるガス発生の調査 白井 直機,白土 宏太郎,稲垣 慶修,佐々木 浩一(北海道大学) Naoki SHIRAI,Kotaro SHIRATSUCHI,Yoshinobu INAGAKI,Koichi SASAKI(Hokkaido Universtiy) |
13:50-14:05 |
誘電体バリア放電によるマスクレス窒化パターニングの可能性調査 市來 龍大,上田 理人,城戸 杏介,松本 翔,立花 孝介,古木 貴志,金澤 誠司(大分大学) Ryuta ICHIKI,Masato UEDA,Kyousuke KIDO,Sho MATSUMOTO,Kosuke TACHIBANA,takashi FURUKI,Seiji KANAZAWA(Oita University) |
14:05-14:20 |
共スパッタリング法によるリチウムイオン電池用Ge/LiAlGePO複合負極の作製 藤掛 大貴,大前 知輝,上田 竜雄,寺田 圭吾,長谷川 祥之,村瀬 瑠汰,山崎 稜介,内田 儀一郎(名城大学大学院 理工学研究科) Daiki FUJIKAKE,Tomoki OMAE,Tatsuo UEDA,Keigo TERADA,Yoshiyuki HASEGAWA,Ryuta MURASE,Ryosuke YAMAZAKI,Giichiro UCHIDA(Graduate School of Science and Technology, Meijo University) |
14:20-14:35 |
プラズマスパッタリングプロセスによる3元系SiSnGeナノ構造膜のシングルステップ堆積 内田 儀一郎1),上田 竜雄1),山崎 稜介1),松村 健太郎1),杉本 一馬1),小野 晋次郎2),古閑 一憲2)(1)名城大学理工学部,2)九州大学システム情報科学研究院) Giichiro UCHIDA1),Tatsuo UEDA1),Ryosuke YAMAZAKI1),Kentaro MATSUMURA1),Kazuma SUGIMOTO1),Shinjiro ONO2),Kazunori KOGA2)(1)Meijo University,2)Kyushu University) |
14:35-14:55 |
低温プラズマによる多層カーボンナノチューブ上のイソシアネート基修飾 小川 大輔(中部大学) Daisuke OGAWA(Chubu University) |
14:55-15:10 |
モレキュラーシーブの種類によるメタネーション反応への影響 都甲 将1),奥村 賢直2),鎌滝 晋礼2),竹中 弘祐1),古閑 一憲2),白谷 正治2),節原 裕一1)(1)大阪大学,2)九州大学) Susumu TOKO1),Takamasa OKUMURA2),Kunihiro KAMATAKI2),Kosuke TAKENAKA1),Kazunori KOGA2),Masaharu SHIRATANI2),Yuichi SETSUHARA1)(1)Osaka University,2)Kyushu University) |
15:10-15:25 |
タンデムAr変調誘導熱プラズマへのH2添加が熱流体場とナノ粒子形成に与える影響に関する数値解析 田中 康規1),田中 伶郎1),長瀬 有理奈1),岡野 里桜1),中野 裕介1),石島 達夫1),末安 志織2),渡邉 周2),中村 圭太郎2)(1)金沢大学,2)日清製粉グループ本社) Yasunori TANAKA1),Reo TANAKA1),Yurina NAGASE1),Rio OKANO1),Yusuke NAKANO1),Tatsuo ISHIJIMA1),Shiori SUEYASU2),Shu WATANABE2),Keitaro NAKAMURA2)(1)Kanazawa University,2)Nissin Seifun Group Inc.) |