シンポジウム & プログラム

C-3 : 先端プラズマ技術が拓くナノマテリアルズフロンティア

Organizers:

Representative
・ 金子 俊郎 東北大学
Correspondence
・ 白谷 正治 九州大学 siratani@ed.kyushu-u.ac.jp
Co-Organizers
・ 井上 泰志 千葉工業大学
・ 荻野 明久 静岡大学
・ 金 載浩 産総研
・ 節原 裕一 大阪大学
・ 寺嶋 和夫 東京大学
・ 平松 美根男 名城大学

Scope:

プラズマプロセスは、微結晶Si、ナノ結晶ダイヤモンド、c-BN、カーボン ナノチューブなどの機能性ナノ材料の合成、その大面積形成や生態模擬プロセスなど を実現する基幹技術である。最近では、大気圧非平衡プラズマが開発され、表面改質 、機能性材料の超高速合成への応用が活発に研究されており、ナノマテリアルの新規 形成技術として世界的に注目を集めている。本セッションでは、先端プラズマプロセ スにおけるサブサーフェス反応の計測・制御、新機能ナノ材料の合成、ナノ構造制御法とナノ構造による新物性の発現に関する最新の成果を議論するとともに、大気圧非 平衡プラズマによる新機能性材料の高速合成技術、マイクロプラズマによる局所堆積 技術からジャイアントエレクトロニクス用ナノ材料合成の量産技術に至るナノマテリ アルズのフロンティアを総括する。

Topics:

1. グリーンナノテクノロジーに対する先進プロセス
2. 機能性ナノ材料創製とナノ構造制御
3. エネルギーと環境応用のためのプラズマプロセス
4. 先進プラズマ源と表面診断
5. 成膜プロセス
6. エッチングプロセス
7. シミュレーションとデータベース